产品详细描述

_光掩膜

在半导体制造的整个流程中，其中一部分就是从版图到晶圆（wafer）制造中间的一个过程，即光掩膜或称光罩(mask)制造。这一部分是流程衔接的关键部分，是流程中造价最高的一部分，也是限制最小线宽的瓶颈之一。

应用领域及种类　

光掩膜除了应用于芯片制造外，还广泛的应用与像LCD，PCB等方面。常见的光掩膜的种类有四种，铬版(chrome)、干版，凸版、液体凸版。主要分两个组成部分，基板和不透光材料。基板通常是高纯度，低反射率，低热膨胀系数的石英玻璃。铬版的不透光层是通过溅射的方法镀在玻璃下方厚约0.1um的铬层。铬的硬度比玻璃略小，虽不易受损但有可能被玻璃所伤害。应用于芯片制造的光掩膜为高敏感度的铬版。干版涂附的乳胶，硬度小且易吸附灰尘，不过干版还有包膜和超微颗粒干版，其中后者可以应用于芯片制造。(顺便提一下，通常讲的菲林即film，底片或胶片的意思，感光为微小晶体颗粒)。

在刻画时，采用步进机刻画(stepper)，其中有电子束和激光之分，激光束直接在涂有铬层的4-9“ 玻璃板上刻画，边缘起点5mm，与电子束相比，其弧形更逼真，线宽与间距更小。光掩膜有掩膜原版(reticle mask，也有称为中间掩膜，reticle作为单位译为光栅)，用步进机重复将比例缩小到master maks上，应用到实际曝光中的为工作掩膜(working mask)，工作掩膜由mastermask复制过来。

制造流程和检测流程

1，数据转换 将如GDSII版图格式分层，运算，格式转换为设备所知的数据形式。(这一部分会产一些具体的描述)

2，图形产生 通过电子束或激光进行图形曝光。

3，光阻显影 曝光多余图形，以便进行蚀刻。

4，铬层刻蚀 对铬层进行刻蚀，保留图形。

5，去除光阻 去除多余光刻胶。

6，尺寸测量 测量关键尺寸和检测图形定位。

7，初始清洗 清洗并检测作为准备。

8，缺陷检测 检测针孔或残余未蚀刻尽的图形

9，缺陷补偿 对缺陷进行修补。

10，再次清洗 清洗为加蒙版作准备

11，加附蒙版 蒙版(pellicle)加在主体之上，这防止灰尘的吸附及伤害。

12，最后检查 对光掩膜作最后检测工作，以确保光罩的正确。

光掩膜的基本检查大体有：基板，名称，版别，图形，排列，膜层关系，伤痕，图形边缘，微小尺寸， 绝对尺寸，缺欠检查等。

数据处理的工艺要求

对于数据处理主要来自于工艺上的要求，在图形处理上有：

1，直接对应 光掩膜直接对应到版图的一层，如金属层。

2，逻辑运算 光刻图形可能由1层或多层版图层逻辑运算而来。比如定义pplus与nplus互补，如果只有pplus，nplus将由pplus进行逻辑非的运算得来。在实际处理中以反转的形式实现。不过值得注意的是，在进行某些逻辑运算时，图层的顺序十分重要。与反转运算结合进，运算的先后顺序也很重要。

3，图形涨缩 即进行size操作，比如gate处的注入层，从gate size放大而来。

完整的光掩膜图形中，除了对应电路的图形外，还包括一些辅助图形或测试图形，常见的有：游标，光刻对准图形，曝光量控制图形，测试键图形，光学对准目标图形，划片槽图形，和其他名称，版别等LOGO。

一、用途及特点：蒸镀掩膜板主要应用于蒸发镀膜遮挡用，传统蒸镀掩膜板一般都是采用开磨具冲压成型，但是冲压工艺比较粗糙，公差大，而且精度不高。对高精密的装配要求用冲压的工艺无法达到这样的要求，卓力达生产的蒸镀掩膜板精度高，采用的是化学蚀刻的工艺制作，蚀刻工艺解决了工业生产中对高精密零部件的要求，最小孔径可以达到0.01mm，并且孔壁垂直，没有任何毛刺；平面度保持在0.02mm以下，最小公差可做到+/-0.01mm，是目前国内企业替代台湾和日本生产技术的首选。
   二、生产能力：针对蒸镀掩膜板样品，卓力达配备有专业的样品制作小组，一般样品在2-3个工作日内完；针对批量产品我司以强大的技术力量（高级研发工程师8人，工程师16人，技术员20人）和先进以及高效的生产设备（进口卷对卷曝光机/卷对卷涂布线/进口蚀刻机）和专业的生产以及管理团队来保证产品的产能和质量
   三、交货方式：以安全，美观，环保的卓力达统一纸箱捆包，国内快递巨头顺丰速运24小时不间断发货，国内快递可在24小时内到达。
   四、质量保证以及售后服务承诺：所有蒸镀掩膜板产品在出货前均会经过严格专业的品质检验，确保发货到您手里的产品是合格产品。若客户对我司的产品提出质量异议，公司会在4小时内作出处理意见，若需现场解决，我司将派出专业技术人员及品质人员解决，不解决问题人员不撤离，对每次客户的质量问题及处理结果予以存档，以做培训和案例分析。

    问：你们的蒸镀掩膜板蚀刻工艺成熟么？能批量化大规模生产么？同行为什么价格会更具优势？ 
答：YES，YES，我们是具有十多年蚀刻加工经验，有专业化的蚀刻技术团队。卓力达是最先加入PCMI蚀刻行业协会的公司之一，能随时接收协会的技术指导，工艺成熟。进口蚀刻生产线，大批量规模化生产，蚀刻自动化，避免更多人员操作，相对于同行，我们价格竞争力高。

    问：和日本，美国蚀刻加工相比，你们为什么卖得更便宜？ 
答：国内的优势在于转变快，外加上人工，材料等成本相对于日本，欧美，我们更具优势。但是，我们并不是坐拥优势谋取暴利，而是将这部分省去的费用直接回馈给广大的客户，让每一个客户买到价廉物美的产品，真正做到为客户着想。

10多年的蚀刻经验，完善的售后服务。
用心服务，一要“真心”、“诚心”，即服务要从心灵沟通开始。只有用真心、用真诚去传情达意，才能使彼此的交流更为顺畅、更为高效、更为精彩。每一次心灵的交流和理解，都将打破心与心之间的隔阂，缩短心与心之间的距离，为下一步更高境界的心灵之旅做好铺垫。服务从心灵的沟通开始，是卓力达人对每一位客户的诚挚承诺。
用心服务，二要“倾心”、“热心”，即倾注全部心血和精力全心全意为用户服务，实心实意替用户着想。倾心、热心服务，要求我们必须变被动、生硬服务为主动、微笑服务，使“我对用户微笑”的同时，“用户也对我微笑”；心为用户所用，情为用户所系；急用户之所急，想用户之所想；想于用户未想之先，做于用户未做之前。 
用心服务，三要“细心”、“耐心”，即细微处见真情，长期坚持见功夫。优质服务就是要从小事做起，从点滴做起，“勿以善小而不为”。细致入微，把一切细小的方面和环节都想到、做到；不厌其烦，耐心做到用户满意为止。这样，我们的服务就会尽善尽美，就不难与用户建立起牢不可破、长期共荣的相互关系，从而引导需求，满足需求。

    公司设立在江苏省南通市，建筑面积40000多平方米，拥用现代化厂房以及一流的生产和实验、检测设备。关键设备包括：进口蚀刻生产线，恒温恒湿无尘操作间，曝光机，显影机，二次元测量仪，自动脱膜生产线等。卓力达所有蒸镀掩膜板出厂均经过生产巡检，品质检测，出库核实，层层把关，品质值得信赖！

蒸镀掩膜版|蒸镀掩膜版蚀刻|蒸镀掩膜版蚀刻加工|蒸镀掩膜版腐蚀